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中國實現(xiàn)離子注入機全譜系產(chǎn)品國產(chǎn)化 助力芯片制造
來源：新聞中心
發(fā)布時間：2021年03月18日 編輯：新聞中心
中國電科旗下電科裝備研制成功的離子注入機。中國電科 供圖
中新網(wǎng)北京3月17日電 (記者 孫自法)記者17日從中國電子科技集團有限公司(中國電科)獲悉，該集團旗下電科裝備已成功實現(xiàn)離子注入機全譜系產(chǎn)品國產(chǎn)化，可為全球芯片制造企業(yè)提供離子注入機一站式解決方案。
中國電科旗下電科裝備研制成功的離子注入機。中國電科 供圖
中國電科介紹說，離子注入機是芯片制造中的關(guān)鍵裝備。電科裝備連續(xù)突破大流強長壽命高品質(zhì)離子源、高速晶圓傳輸?shù)取翱ú弊印标P(guān)鍵技術(shù)，自主研制出中束流、大束流、高能、特種應(yīng)用及第三代半導(dǎo)體等離子注入機，工藝段覆蓋至28納米，已累計形成核心發(fā)明專利413項，實現(xiàn)中國芯片制造領(lǐng)域全譜系離子注入機自主創(chuàng)新發(fā)展，將有效緩解中國芯片制造領(lǐng)域斷鏈、短鏈難題。
中國電科旗下電科裝備科技人員對研制成功的離子注入機進行相關(guān)測試。中國電科 供圖
中國電科表示，下一步，電科裝備將瞄準高端，緊跟先進工藝發(fā)展，加快推進適用于更先進工藝節(jié)點離子注入機的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化。
據(jù)了解，中國電科是中國軍工電子主力軍、網(wǎng)信事業(yè)“國家隊”、國家戰(zhàn)略科技力量，擁有電子信息領(lǐng)域相對完備的科技創(chuàng)新體系。目前，中國電科旗下包括47家國家級研究院所、11家上市公司在內(nèi)的企事業(yè)單位500余家，員工20余萬名，并擁有35個國家級重點實驗室、研究中心和創(chuàng)新中心。
